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在化工、半導(dǎo)體、電鍍等高精密領(lǐng)域，液體輸送的安全性與可靠性直接關(guān)乎生產(chǎn)效率和成本。日本IWAKI（易威奇）在北京華林嘉業(yè)科技有限公司（CGB）北方制造基地河北省廊坊市香河工廠培訓(xùn)圓滿完成，并正式授權(quán)CGB作為IWAKI品牌在中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)重要的合作伙伴，為您帶來原廠正品與本土化服務(wù)的一站式解決方案！

交流雙方

IWAKI公司

日本(易威奇)IWAKI具有近70年歷史的化工泵專業(yè)制造商，是世界首家生產(chǎn)合成材料的磁力驅(qū)動(dòng)離心泵的企業(yè)。IWAKI生產(chǎn)的化工泵種類齊全，從1956年創(chuàng)立開始，不斷研制推出多系列寬用途的新產(chǎn)品，至今已有500多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)，從結(jié)構(gòu)輕巧精密的OEM（設(shè)備配套）產(chǎn)品，到全球高級(jí)別的「氟材質(zhì)磁驅(qū)離心泵」、「定量添液泵」和「水質(zhì)控制器」，易威奇化工泵廣泛應(yīng)用于化工、石化、環(huán)保、電鍍、印刷電路板、造紙、及半導(dǎo)體等行業(yè)。

風(fēng)囊泵——?dú)鈩?dòng)驅(qū)動(dòng)的安全衛(wèi)士

風(fēng)囊泵（Bellow Pump）是以PTFE為基材的泵浦，通過壓縮空氣驅(qū)動(dòng)柔性風(fēng)囊（類似氣囊）的收縮與膨脹來輸送流體。其核心功能為：

    ? 無機(jī)械密封：無動(dòng)態(tài)密封結(jié)構(gòu)，杜絕泄漏，適合危險(xiǎn)化學(xué)品輸送。

    ? 耐腐性：風(fēng)囊為PTFE，適合強(qiáng)堿、強(qiáng)酸介質(zhì)，適應(yīng)半導(dǎo)體苛刻化學(xué)環(huán)境。

半導(dǎo)體濕式蝕刻工藝是一種利用強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等腐蝕性液體化學(xué)物質(zhì)對(duì)晶圓表面進(jìn)行選擇性材料去除的技術(shù)。其中，高純度蝕刻液的輸送是關(guān)鍵環(huán)節(jié)，通常需要使用耐腐蝕性極強(qiáng)的PTFE材質(zhì)泵浦。

由于半導(dǎo)體制造對(duì)流體純凈度要求極高，而PTFE材料純度及風(fēng)囊泵制作工藝精度直接影響泵浦的性能和可靠性。

磁力泵——精準(zhǔn)計(jì)量的科技之選

磁力泵（Magnetic Drive Pump）利用磁力耦合原理驅(qū)動(dòng)葉輪，實(shí)現(xiàn)零泄漏、免維護(hù)的流體輸送。IWAKI作為磁力泵技術(shù)先驅(qū)，其電磁泵以高效、靜音、長(zhǎng)壽命著稱。

    ? 100%無泄漏：取消機(jī)械密封，杜絕介質(zhì)外泄。

    ? 超長(zhǎng)壽命：無接觸傳動(dòng)，磨損極低，適合連續(xù)運(yùn)行。

    ? 精準(zhǔn)控制：流量穩(wěn)定，適用于精密加藥、計(jì)量場(chǎng)景。

    ? 低能耗：高效葉輪設(shè)計(jì)，節(jié)能環(huán)保。

計(jì)量泵——精準(zhǔn)流控的工業(yè)藝術(shù)品

計(jì)量泵（Metering Pump）是一種能夠精確控制流量的容積式泵，主要用于需要高精度定量輸送的工業(yè)場(chǎng)景。其核心特點(diǎn)是可調(diào)節(jié)流量、高重復(fù)精度和穩(wěn)定可靠性，廣泛應(yīng)用于化工、制藥、半導(dǎo)體、環(huán)保等領(lǐng)域。

北京華林嘉業(yè)科技有限公司（CGB）

作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的專業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備制造商，CGB專注于晶圓清洗、干燥及表面處理技術(shù)的研發(fā)與生產(chǎn)，公司研發(fā)總部位于北京亦莊經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，擁有河北廊坊北方生產(chǎn)基地和無錫華東區(qū)域服務(wù)中心。同時(shí)在日本設(shè)有研發(fā)中心，專注于產(chǎn)品研發(fā)和海外市場(chǎng)服務(wù)。

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域包含：集成電路（IC）、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS)、硅材料（Si)、化合物半導(dǎo)體（Compound Semiconductor）、光通信器件（Optical Communication Devices）、功率器件(Power Devices)、半導(dǎo)體照明（LED)、先進(jìn)封裝（Advanced Packaging）、光伏電池（Photovoltaic)、平板顯示（FPD)和科研（R&D)等。

作為國(guó)內(nèi)深耕半導(dǎo)體濕法制程設(shè)備、全自動(dòng)晶圓倒角機(jī)、全自動(dòng)刷片機(jī)、干燥機(jī)、化學(xué)品供給系統(tǒng)等設(shè)備制造商，CGB始終嚴(yán)格按照國(guó)際質(zhì)量管理體系標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行全方位和全過程的質(zhì)量控制，同時(shí)注重持續(xù)改進(jìn)及創(chuàng)新。

 核心優(yōu)勢(shì)包括：

    ? 核心技術(shù)：在RCA清洗、Marangoni干燥、晶圓倒角機(jī)等領(lǐng)域擁有多項(xiàng)專利

    ? 定制化能力：可根據(jù)客戶需求調(diào)整工藝參數(shù)，適配Si、SiC、GaN、Ga?O?等先進(jìn)半導(dǎo)體材料

    ? 穩(wěn)定量產(chǎn)驗(yàn)證：設(shè)備已在國(guó)內(nèi)多家頭部晶圓廠、第三代半導(dǎo)體企業(yè)穩(wěn)定運(yùn)行

公司設(shè)備核心優(yōu)勢(shì)

1.碳化硅、多晶硅、硅基等晶圓的干燥處理方面，我公司自主研發(fā)的Marangoni干燥機(jī)有其獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。

? 多尺寸支持

Marangoni干燥機(jī)支持4-12英寸晶圓，厚度110-1400μm，適應(yīng)多樣化需求。它能夠滿足不同尺寸晶圓的干燥需求，提高生產(chǎn)靈活性。

? 節(jié)能高效

Marangoni干燥機(jī)無需加熱IPA，采用N2加熱，自動(dòng)調(diào)溫，節(jié)能高效。它通過氮?dú)饧訜峒夹g(shù)，實(shí)現(xiàn)快速穩(wěn)定的干燥過程，降低能耗。

? 高潔凈度

Marangoni干燥機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓表面潔凈度高，無水印，金屬污染≤1E10 atoms。它采用高效的干燥方式，避免水漬殘留和金屬污染，確保晶圓表面質(zhì)量。

? 緊湊設(shè)計(jì)

Marangoni干燥機(jī)占地面積小，即可單機(jī)使用，也可以集成到全自動(dòng)清洗設(shè)備當(dāng)中使用。

2.全自動(dòng)有機(jī)清洗機(jī)針對(duì)油污、脂漬、金屬加工液等?有機(jī)污染物?，有機(jī)清洗劑的溶解力顯著高于水性清洗劑，能快速分解頑固油污。結(jié)合?超聲波空化效應(yīng)?（頻率40kHz-80kHz），實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體晶圓的表面處理。

通過有機(jī)溶劑（ACE、NMP、EKC、IPA）與物理清洗（噴淋、超聲波）結(jié)合，降低晶圓表面缺陷率，提升芯片良品率?。

前置式全自動(dòng)機(jī)械臂，工藝過程中無需人員參與，保證晶圓清洗的一致性。

配備消防系統(tǒng)

? 毫秒級(jí)探測(cè)?：在設(shè)備內(nèi)部高風(fēng)險(xiǎn)區(qū)（溶劑槽、管路區(qū)等）部署溫度/火焰/煙霧多傳感器，實(shí)現(xiàn)火災(zāi)萌芽期精準(zhǔn)識(shí)別。

? 定向滅火?：針對(duì)溶劑特性選用二氧化碳滅火劑，通過噴嘴直接噴射至火源，10秒內(nèi)完成初期火勢(shì)壓制。

3.全自動(dòng)晶圓倒角機(jī)采用日本先進(jìn)工藝，主要用于SiC等化合物半導(dǎo)體晶片、Si晶片等的外圓倒角，利用精密砂輪對(duì)晶圓進(jìn)行研磨整形加工。具備兩個(gè)加工軸，可獨(dú)立控制，也可單軸單獨(dú)加工。與單軸設(shè)備相比，雙軸可將加工效率提高70%。（僅供參考）