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Marangoni 干燥機(jī)適用于硅（Si）、碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）、磷化銦（InP）等晶圓的干燥處理，支持4/6/8/12英寸晶圓，厚度可選（350μm-1400μm），適應(yīng)多樣化應(yīng)用場景?；贛arangoni效應(yīng)，通過氮?dú)鈹y帶IPA形成表面張力梯度，實(shí)現(xiàn)高效干燥，支持晶圓提拉、緩慢排水、擺動(dòng)三種干燥方式。設(shè)備配備上下搬送機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)Cassetteless工藝，防止片盒與晶圓接觸部位干燥不良，提升干燥均勻性。