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晶圓旋轉(zhuǎn)干燥機(jī)是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵設(shè)備，主要用于濕法清洗后的晶圓干燥。該設(shè)備集成了水噴淋清洗、氮?dú)獯祾吆褪⒓t外燈管烘干功能，能夠高效去除晶圓表面的污染物和水分，確保晶圓干燥無殘留。設(shè)備兼容4、6、8、12英寸晶圓，適用于多種尺寸的晶圓處理，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)線的高潔凈度和高效能需求。